“老板，什么是相干光？”刘成林询问道。

“具体的我也不是很清楚，但是我可以给你们一个大概，你们按照这种方式去做科研，我相信你们”

“老板您说。”

“可以采用氟化氙(ArF)准分子激光技术，通过氩、氟气体的混合物在高压电场下生成不稳定分子，释放出193nm波长的光子，然后以高能量的短脉冲形式发射，频率在8k-9kHz，这是一种方式。”

“老板，什么意思？还有另外一种方式吗？”刘成林已经被惊到了。

林语点了点头，笑着说道

“还有一种，是完全基于固态设计，由制造的Yb:YAG晶体放大器生成1030nm的激光，在通过两条不同的光学路径进行波长转换。一路采用四次谐波转换，将1030nm激光转换为258nm。另一路径采用光学参数放大，将1030nm激光转换为1553nm。之后，转换后的两路激光通过串级硼酸锂晶体混合，生成193nm波长的激光光束。”

林语喝了一口水，然后继续说道

“这种光刻机可以大幅降低光刻系统的复杂度、体积，减少对于稀有气体的依赖，并大大降低能耗。当然了，不是说这种研究方向就一定是最佳的选择，科研的路有很多种，我们只有做了尝试，才知道哪条路是正确的。所以两组全都要拿出十二分精神，努力的做科研，争取研发成功。”

刘成林和和王乾伟皱着眉记录着，他们在脑海中反复想着老板说的这两种方向，虽然没有实践，但是他们觉得全都是可行的。尤其老板说的这么详细，虽然只是大概的研究方向，但是连具体的数据都有。他们不清楚，老板是怎么知道的，但是他们知道，在老板的背后，肯定有一个很专业的团队，不然是说不出这么详细的。

此刻他们激动的竟然有些颤抖，因为他们做了二十多年的研究，走了不知多少弯路，尤其现在想要跟随光刻机巨头的步伐做科研，而此刻他们找到了新的方向，能够弯道超车的机会，而且不是一条。

他们知道，扬眉吐气的日子不远了。