团队里的晶体生长专家,一位姓孙的老工程师,几乎住在了拉晶炉旁边。他盯着控制屏幕上跳跃的温度曲线,听着机械泵稳定的运行声,一遍遍调整着参数,眼睛里布满了血丝。失败了,就和大家一起开会复盘,分析可能是哪一股氩气流速不稳,或者是加热器哪个区域的温度反馈滞后了零点几度。
陆明辉作为项目负责人,不仅要协调资源,解决技术难题,还要顶住内心的焦虑,不断给团队成员打气,反复强调林朝阳定下的“宽容失败”的原则,让大家卸下包袱,专注于技术本身。
日复一日,夜复一夜。实验室的灯光,见证了无数次的失望与重燃希望。消耗的高纯硅料和特种气体价值不菲,但研究院的后勤保障从未因此有过半点迟疑,要钱给钱,要物给物,给予了无条件的信任和支持。
转折,发生在一个凌晨。
经过又一轮对热场设计和拉速曲线的优化后,孙工和他的助手们再次启动了一台最新的单晶拉制炉。所有人都屏息凝神,隔着观察窗,注视着那旋转的、闪耀着炽白光芒的硅液,以及那根正在缓缓“生长”的硅棒。
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时间一分一秒地过去,硅棒以稳定的速度缓缓提升,直径控制得出奇地均匀,表面光滑,反射着熔硅的光芒,呈现出一种完美的“镜面”效果。
当长达一米多、直径符合150毫米(6英寸)规格的硅棒被完整地提拉出来,经过退火、冷却后,被小心翼翼地取出时,经验丰富的孙工用手电筒照射着硅棒的侧面和端面,仔细观察着其色泽和纹理,他的手开始微微颤抖。
“有……有戏!”他声音沙哑,带着难以置信的激动。
后续的检测验证了他的判断。经过严格的检测,这根硅棒的纯度稳定达到了电子级标准,少数载流子寿命、氧碳含量等关键指标,均达到了当时国际商用硅片的平均水平!更重要的是,经过初步的定向切割和研磨,得到的硅片胚体,内部晶格完整性极佳!
但这还不是最终的证明。最激动人心的时刻,发生在硅片经过初步抛光,被送到材料表征实验室,放置在那台刚从德国进口的高分辨率透射电子显微镜下的时候。
陆明辉、孙工以及核心团队成员全都围在显示器前,紧张地等待着图像的出现。
操作员小心翼翼地调整着参数,屏幕上开始出现模糊的斑点,然后逐渐清晰,放大……最终,一幅无比规整、如同完美艺术品般的原子排列图像,清晰地呈现在众人眼前!