实验室里,只有一片红色。
那是从天花板上洒下的警示灯光,代表着“核心流片作业中,严禁干扰”。
时间,变成了最折磨人的东西。
李卫东就站在主监控屏幕前,一动不动,像一尊雕塑。
他的身后,尼古拉、阿维·科恩,还有几十名核心工程师,或站或坐,眼睛全都死死盯着屏幕上那些不断跳动的曲线。
没人说话。
空气里只有设备的低鸣,和浓缩咖啡的苦涩味道。
桌子上,摆着几盒没开封的速效救心丸,那是为年纪大的林院士准备的,但现在,每个年轻人都觉得自己可能用得上。
屏幕上的每一条曲线,都代表着一项正在进行的微观工艺。
光刻胶涂布、前烘、对准、曝光、坚膜……
任何一个环节的曲线出现异常波动,都意味着数千万美元的设备和材料,以及所有人几个月的心血,将化为乌有。
时间走到了第十二个小时。
“滴!滴!滴!”
一阵尖锐的警报声,猛地撕碎了这片死寂。
控制台前,一个年轻技术员的脸瞬间白了。
“报告!三号辅助冷却泵过载!腔体振动频率超出阈值百分之二十!”
“压力还在上升!快要超过安全红线了!”
所有人的心,一下子提到了嗓子眼。
冷却系统出问题,意味着光刻机核心温度会失控。
温度只要偏差零点零一度,晶圆上的电路就会被直接烧毁!
“启动备用方案!切换到B组冷却泵!”
一名负责人声嘶力竭地喊道。
“不行!切换需要三十秒的空窗期!来不及了!”
技术员的声音带着哭腔。
绝望在众人心里悄悄扩散开。
就在这时,一道身影猛地冲了出去。
是尼古拉!
这个平日里只关心理论的物理天才,此刻像一头暴怒的狮子。
他一把扯掉碍事的无尘服外罩,冲到那台正在剧烈震动的冷却泵旁。
“是共振!该死的共振抑制器失灵了!”
他大吼着,不顾高温警报,双手抓住了一个手动泄压阀。
滚烫的金属外壳,瞬间就把他的手心烫得冒起白烟。
可尼古拉仿佛没有感觉,他用尽全身力气,对抗着那股狂暴的压力,缓缓转动阀门。
“滋——”